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氮化矽陶瓷

ALN氮化鋁陶瓷產品技術參數一覽表 ( 單位 : mm)

項目

優級品

特級品 ( 邊緣磨工 )

有效尺寸

長 ≦ 300, 寬 ≦ 120,

厚 0.20~1.20

長寬公差

厚度 ≦ 0.63

+ 0.15

-0.05

+0.10

-0.05

0.6 3 <厚度 ≦ 0.76

+ 0.20

-0.05

0.76 <厚度 ≦ 1.0

+ 0.15

-0.05

厚度公差

± 7%, 但不小於 NL T ± 0.05

線與線間公差

± 0.05

最小劃線寬度

0.10

孔徑

圓孔最小直徑 0.02, 其它孔最小邊長 0.20

邊緣到劃線

( 孔中心 ) 間公差

厚度≦ 0.63

+ 0.15

-0.05

± 0.05

0.6 3 <厚度 ≦ 0.76

+ 0.20

-0.05

± 0.05

0.76 <厚度 ≦ 1.0

+ 0.25

-0.05

± 0.08

孔公差

Φ 0.2~2.0

± 0.05

± 0.05

Φ 2.0~10.0

± 0.10

± 0.10

Φ 10.0 以上

± 0.8%

± 0.8%

孔中心間距公差

± 0.05

± 0.05

孔到孔及孔到邊緣最小距離

≧ 1.2 倍基片厚度 , 且不小於 1.0m m

 

通孔入口直徑減出口直徑

≦ 8% 基片厚度

翹曲度

≦ 0.05/25.4( 長邊 ), 但不小於 0.05m m

平行度 / 垂直度

0.2% 最長邊尺寸

氧化鋯, 氮化鋁

AIN 陶瓷基片主要性能指標

 

性能內容

性能指標

體積密度 (kg/m 3 )

≧ 3.26

吸水率 (%)

0

線膨脹係數 [RT -50 0 ℃ ](10 -6 m m / ℃ )

4.4

體積電阻率 ( Ω. cm )

≧ 10 14

介電常數 [ 1M H z ]

9

介質損耗 [ 1M H z ]

3 × 10 -4

抗電強度 (KV/mm)

15

抗彎強度 (MPa)

≧ 330

熱導率 [ 20 ℃ ](W/ m . k )

≧ 170

表面粗糙度 Ra( μ m)

0.25~0.5

翹曲度 (~/25 長度 )

0.05

顏色

淡青色

外觀

緻密、細晶

 

 
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