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產品簡介 | 結構/精密陶瓷事業部

  • 產品簡介
    最專業的團隊 數十位博士研發及生產

    The most professional team,
    R&D and production of dozens of PhDs.

產品簡介
結構/精密陶瓷事業部
  • 陶瓷特性說明
    陶瓷材料依特性及制程不同分為氧化鋁、氧化鋯、氮化矽、氮化鋁、氮化硼、碳化矽,可達到絕緣、耐高壓、耐酸鹼、耐磨、耐高溫、高散熱或高阻熱、自潤滑等特性,分為半導體陶瓷、光電陶瓷、科技陶瓷、精密陶瓷、化工陶瓷、紡織陶瓷、工業陶瓷等。 產品包含

    氧化鋁、氧化鋯、氮化矽、氮化鋁、氮化硼、碳化矽、AL2O3、ZrO2、Si3N4、AIN、SiC、BN
    ※ 以上所有數值皆會因為您所需的產品成分不同有所變化

  • 製程能力
    陶瓷製程流程:
  • 測量設備
    設備環境
    • 機械設備
    • 機械設備
    • 機械設備
    • 機械設備
  • 精密工程陶瓷應用範圍

    半導體設備以及LCD設備之關鍵零組件及耗材多應用於前段製程,如:離子植入、微影顯像、化學氣相沈積成膜、蝕刻、濺鍍、洗淨、長晶等製程設備,其中有一大部份是使用在真空腔體環境中 ,也因在真空腔體環境下長時間使用化學氣體的情況下,腔體內部所需使用的零件就特別需要注意是否可以耐酸鹼,耐腐蝕,耐磨擦…等。

  • 常用工程陶瓷零件
    • 陶瓷棒 Ceramic Pin

      因各個客戶機台使用上的不同,因此會延伸出多種不同外觀大小的陶瓷棒。這個部分皆可根據各戶的需求進行生產。

    • 陶瓷螺絲 Ceramic Cap

      半導體以及光電業機台設備因會需使用酸鹼性較高的腐蝕性化學藥劑,機台內使用之螺絲也需要考慮到是否可以抗酸鹼腐蝕,故許多機台內的螺絲都採用陶瓷螺絲。

    • 聚焦環Focus Ring

      主要用在半導體以及光電業蝕刻機台設備,所以機台亦長期與化學藥劑接觸,故此零件大部分廠商會使用陶瓷或是石英,石英部分較陶瓷不耐碰撞,石英碰撞後容易造成表免剝落狀態,上機會造成問題。故目前所知採用陶瓷的廠商已經越來越多。

    • 注入器Injector

      在半導體機台設備中扮演著化學氣體輸出入的角色,因為他長時間都需接觸化學氣體,故他必須要有耐酸鹼耐腐蝕的功能,以免因為他的腐蝕造成機台設備的損傷。
      工程陶瓷零件的耐腐蝕抗酸鹼剛好適合使用。

    • 上下保護環Guard Ring

      陶瓷本身無磁性之功能正好符合半導體機台內保護環防止雜訊干擾使用,因機台所需的尺寸大小不同,尺寸部分也會因此不同。這個部分皆可根據各戶的需求進行生產。

    • 機械手臂

      因半導體機台設備內常使用化學藥劑,機台設備所生產之產品又必須要可以轉送下一站別,故有了機械手臂這項產品。
      為了避免機台內的化學藥劑對機械手臂產生化學反應,許多廠商已經開始改用陶瓷所生產的機械手臂。

    • 鐘罩Dome

      會用在反應器系統內,且電漿或是化學氣體有時會在此停留,故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸鹼耐腐蝕,因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩採用陶瓷材質,鐘罩之外表也可以配合另外Coating 其他金屬材質。或本司金屬鐘罩可做陶瓷表面處理。

    • 壓緊環 Clamp Ring

      用於光電業前段製程機台設備中,長期會接觸化學藥劑,陶瓷材質可避免長期接觸化學藥劑產生腐蝕的現象。

    • 陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板 Clamp

      多用於LCD蝕刻機台設備,機台需長期與化學藥劑接觸,中間孔洞部分是需鎖螺絲,所以Clamp 的材質多數必須考量可耐酸鹼,抗腐蝕,故目前大多數Clamp 都採用陶瓷材質。Clamp 因應機台的需求會產生很多不一樣型式,故我們樣式的陶瓷Clamp。提供客戶客製化的服務,可配合生產各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。

    • Ceramic Insulator /Ceramic Shield

      會用於LCD蝕刻機台設備,機台需長期與化學藥劑接觸,因配合機台製程別大小不同,如尺寸較小可做成一體成形,如此寸較大則會製作分段製作截取部分分段圖片如下。

    • 天板

      用於LCD蝕刻機台設備,機台需長期與化學藥劑接觸,天板的大小會因為設備的不同而有所不同,這邊可以配合客戶需求進行各種尺寸規格的生產。

    • 其他應用

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